크기가 큰

메탈렌즈는 일반적으로 전자 빔 리소그래피를 사용하여 만들어집니다. 여기서 집중된 전자 빔이 유리 조각이나 기타 투명 기판에 스캔되어 점별로 안테나와 같은 패턴을 만듭니다. 그러나 전자빔의 스캐닝 프로세스는 생성할 수 있는 렌즈의 크기를 제한합니다. 각 지점을 스캐닝하는 데는 시간이 많이 걸리고 처리량이 낮기 때문입니다.

메탈렌의 크기가 커짐에 따라 패턴을 처리하는 데 필요한 디지털 파일도 상당히 커져서 DUV 리소그래피 기계를 처리하는 데 오랜 시간이 걸립니다. 이 문제를 극복하기 위해 연구원들은 데이터 근사치를 사용하고 고유하지 않은 데이터를 참조하여 파일을 압축했습니다. Ni는 "우리는 파일 크기를 줄이기 위해 가능한 모든 방법을 활용했습니다"라고 말했습니다. "우리는 동일한 데이터 포인트를 식별하고 기존 데이터 포인트를 참조하여 금속렌즈 생성을 위해 기계로 보낼 수 있는 사용 가능한 파일이 생길 때까지 데이터를 점차적으로 줄였습니다." 연구원들은 새로운 제조 방법을 사용하여 단일 렌즈 망원경을 개발하고 선명한 이미지를 포착했습니다. 달 표면의 달 표면 — 이전 금속 렌즈보다 더 높은 물체 해상도와 훨씬 더 먼 이미징 거리를 달성합니다. Penn State 팀 구성원은 이 기술을 최신 카메라에 적용하기 전에 연구자들이 색수차 문제를 해결해야 한다고 말했습니다. Ni는 연구원들이 가시 범위의 디자인을 탐구하고 있으며 색수차를 포함한 다양한 광학 수차를 보상할 것이라고 말했습니다. 이 연구는 Nano Letters(www.doi.org/10.1021/acs.nanolett.2c03561)에 게재되었습니다.